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1.ULSI多層銅布線鉭阻擋層及其CMP拋光液的優化
更新時間：2007年5月23日   來源：中華職工學習網
    由于鋁自身的性質，導致傳統的鋁布線工藝制作的器件經常會因鋁的電遷移而失效，隨著ULSI特征尺寸的進一步減小，布線層數增加、寬度也隨之變細，這個問題也變得更加突出。而銅的多層布線恰恰能避免這一問題的出現，因此在深亞微米工藝中（0.18μm及以下），銅將逐步代替鋁成為硅片上多層布線的材料。現在，已被普遍承認的是，對于最小特征尺寸在0.35μm及以下的器件，必須進行全局平面化，而化學機械拋光（CMP）是最好的也是唯一的全局平面化技術。 [詳情……]
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